Pura

 Pure Gas Dauwpunt Transmitter / On-Line
In toepassingen waar hoog zuiver gas wordt gebruikt, zoals bij de halfgeleider industrie, kan rest vocht in het gas van cruciaal belang zijn voor het optimaal functioneren van het proces. Dit soort vocht metingen waren tot nu toe vaak problematisch, vanwege het gebruik van complexe vochtanalysers en dure analyse technieken. Michell Instruments heeft nu een eenvoudige, prijsgunstige en effectieve oplossing op de markt gebracht om online metingen te verrichten van dauwpunttemperaturen tot -120°C en dit is gelijk aan minder dan 1 ppb.

De Pura transmitter is gebaseerd op de ervaring die Michell Instruments heeft opgebouwd in productie en calibratie van de impedantie dauwpuntsensors. Door gebruik te maken van de industriële standaardmaterialen en fabricageprocessen is dit de eerste transmitter geschikt voor grootschalige integratie in een halfgeleiderfabricage productie of bij soortgelijke toepassingen waar een hoge zuiverheid nodig is.

Product Bijzonderheden

  • Meetbereik tot -120°C dauwpunt (1 ppbv)
  • Stabiele en reproduceerbare meting
  • Analoge en digitale uitgangen
  • Eenvoudige installatie
  • VCR proces aansluiting
  • Compact ontwerp
  • Optioneel display
 Pura

Technische specificatie
SENSOR
Type Michell Keramische Vochtigheid Sensor
Bereik -120 tot -40ºC dauwpunt (gekalibreerd -100 to -40°C )
Naukeurigheid ±1ºC van -40 tot -60; ±2ºC van -61 tot -100°C; ±4ºC van -101 tot -120°C
Resolutie 0.1ºC van -40 tot -79.9; 1ºC van -80 tot -100; 1 tot 3ºC van -100 tot -120°C
Werk Druk Minimum 10-9 torr; Maximum 24 MPa p.s.i.g.
Gas Flow Rate 1 tot 5 Nl/min
ELEKTRONICA
Voeding Nominaal 24 VDC, 10 V min tot 28 V max, max stroom 25 mA
Uitgang 4-20 mA uitgang instelbaar van 1 tot 80°C span met gebruik making van de gratis interface software
Max load = 100 Ω + 50 Ω x (V supply - 8)
Foutmelding Standard foutmelding: 23 mA = sensor fault; 20 mA = over range; 4 mA = under range
MECHANISCH
Sensor Blok Koud getrokken RVS, 0.1 - 0.2 Ra µm electro-polished intern
Gas Aansluiting Premium en OEM versie: ¼" male VCR connectie
Pura Sensor versie: ½" male VCR connectie
Installatie Profiel Premium en OEM versies: 120.00 mm afstand, tussen de gas portseals. Geen extra montage ruimte nodig. 2 stuks M4 x 0.7, 7 mm diepe montage gaten in het blok, diagonaal tegenover elkaar op een afstand
vane 20 x 20 mm
Pura Sensor versie: past op gebruikers aansluiting van ½" VCR
Afmetingen Premium en OEM versie: 120 x 35 x 150 mm
Pura Sensor versie: 132 x 35 dia mm
Gewicht Premium en OEM versie: 450 g
Pura Sensor versie: 180 g
Verpakking Pura: Dubbel verpakt en gesealed in een UHP inert gas
Pura OEM en Pura Sensor: Enkel verpakt in een 1000 gauge polytheen zak
Alle opties: individueeel verpakt in een kartonnen verpakking met schuimrubber
Sensor versies worden geleverd met beschermhuls over de sensor

Toepassing
Semi-Conductor / Electronics

Aanverwante artikelen
MDM300 MDM300
De MDM300 heeft alles in zich om efficiënt aan het werk te zijn. Een ultra snelle responsetijd stabiele en accurate metingen en de mogelijkheid
Easidew Transmitter Easidew Transmitter
De Easidew transmitter is een 2 draads dauwpuntransmitter, ontworpen voor gebruiksgemak. Installatie en gebruik zijn zo gemakkelijk mogelijk gemaakt...
Cermet II Cermet II
On line hygrometer met hoge specificaties voor het meten van dauwpunt in lucht of proces gassen...